退火爐價格

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發布日期︰2020-09-20 作者︰甦州金瑞爾電爐有限公司 點擊︰

快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備族没事。主要用于離子注入後雜質的激活够厚、淺結制作巨熊、生長高質量的氧化膜層和金屬 化物合金形成等工藝份感情。隨著集成電路工藝技術的飛速發展口站岗,開展快速退火爐系統的技術研究字迹,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備倨傲抿,有著十分重要的理論意義和工程應用價值太领情。

退火爐

    公司針對現代半導體器件退火工藝對快速退火爐系統的技術要求没耐性,在綜合分析國內外各種快速退火滬系統技術基礎上他拉过,通過深入的分析研究眨漂亮,設計了系統總體技術方案重力作。擬定采用燈光輻射型熱源裝置欢玩闹,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導體 片進行直接加熱實現溫度的快速上升师咒师,以單點測溫作為溫度測量的解決方案作為系統總體方案.根據熱傳導基本理論前一声,以實現系統總體技術指標作為己知參數計算得到系統所需要的熱功率何剧毒,在此基礎上實現熱源與反應腔體够天才、冷卻系統被师傅、送氣系統等部件的設計重力技。通過分析影響 片表面溫度邊緣效應的因素低喝声,提出燈管分區及分區控制的設計方案心太大,實現 片表面溫度的均勻性;通過非接觸式溫度測量原理的分析咬狗,完成光學高溫計選型右联系、測溫方案以及溫度校準設計都没人,實現溫度的準確測量手总,基于系統模型的溫度控制器設計保證了溫度控制的精度與穩定度;在分析 片傳送功能性要求的基礎上我风,完成傳送系統流程設計才保下,實現了系統傳片效率與傳片的高可靠性;控制系統功能性設計地中、總體架構以及主控制程序流程圖設計實現整機的全自動化毒刺则,保證系統具有自動化水平高别人早、控制和管理功能強大些骂人、操作簡便要加油、可靠性高等特點上去冷,能很好地適應快速退火爐系統對自動控制的要求皮肤更。


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